西湖仪器申请晶圆片冷冻剥离方法专利剥离效率高西湖娱乐城

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　　专利摘要显示，本发明涉及一种晶圆片冷冻剥离方法，其包括以下步骤，在晶锭的端面和/或温控夹具的夹持面涂覆液态的水溶性介质后，水溶性介质在温控夹具的作用下冷却固化，完成晶锭在一对温控夹具之间的固定；移动至少一个温控夹具，直至晶锭的改质层分离，剥离结束后，固态的水溶性介质在温控夹具的作用下加热液化，得到晶圆片和剩余晶锭。本发明具有剥离效率高、节约清洗工序、剥离条件便于控制、裂片风险低、操作简单、适合大规模工业化应用的优点。